Die Verfügbarkeit von neuen, miniaturisierten Wärmeleitfähigkeitssensoren ermöglicht neue Wege in der Prozessgasanalyse.

Während die klassischen Wärmeleitfähigkeitssensoren auf die Analyse von binären Gasen beschränkt sind, können mit Hilfe der neuen Sensorik 3 oder 4 Komponenten eines Gasgemischs gemessen werden.

Der Vorteil der Prozessgasanalyse auf Basis Wärmeleitfähigkeit von binären und ternären Gasen liegt in der Schnelligkeit der Messung. Typischerweise werden T-90 Zeiten von kleiner als 10 Sekunden erreicht.

Damit eröffnen sich neue Einsatzfelder in neuen Anwendungen.